高温処理用プレミアム石英ボート

半円形石英ボートは、高純度二酸化ケイ素から作られた石英ガラス製品で、優れた光学特性と耐化学腐食性を特徴としています。高温、熱衝撃に耐えることができ、熱膨張係数が低く、高抵抗と低誘電損失の優れた電気特性を備えています。

アプリケーションシナリオ

• 半導体製造:ガリウムヒ素単結晶やその他の半導体材料を成長させて単結晶の品質を向上させるために使用されます。
• 太陽電池製造：大型シリコンウエハーの拡散工程で使用され、生産コストを削減し、生産能力を増大させます。
• グラフェンの成長:グラフェンの成長プロセスにおいて、石英ボートと金属基板との広範囲な接触を回避し、より完全で高品質の単層グラフェンを生成します。
• 化学・冶金産業：高温耐酸性ガスの燃焼、冷却、換気装置として、また酸性溶液の蒸発、冷却吸収、貯蔵に使用されます。
• 科学研究：蒸留水、塩酸、硝酸、硫酸などの調製や実験材料の物理化学実験に使用されます。

仕様